Однако у областного управления было и несколько крупных недостатков: губернии представляли слишком обширные административные округа, где не хватало госучреждений. Всё это вело к тому, что в управлении смешивались различные ведомства: одно и то же место ведало и финансами, и наказанием, и администрированием. На устранение этих недостатков была рассчитана новая реформа. Дополнительным толчком явилась необходимость укрепления центральной власти на местах после Пугачевского восстания.
По решению императрицы Екатерины II (7) 18 ноября 1775 года было принято «Учреждение для управления губерний Всероссийской империи». Вместо губерний, уездов и провинций вводилось деление страны на губернии (300-400 тысяч человек) и уезды (20-30 тысяч человек), в основе лежал принцип численности податного населения.
Во главе администрации стоял наместник или генерал-губернатор, подведомственные Сенату и прокурорскому надзору, возглавляемому генерал-прокурором. Во главе уезда назначался капитан-исправник, который выбирался один раз в три года уездным дворянским собранием. Ближайшим помощником губернатора являлся вице-губернатор.
«Учреждение» создало сложную бюрократическую систему губернской администрации, которая подкреплялась организацией сословного дворянского самоуправления. «Учреждение» заложило основы всего последующего устройства местного управления империи. К концу царствования Екатерины II Россия делилась на 50 наместничеств и губерний и одну область.
После Октябрьской революции 1917 года первоначальное губернское деление было сохранено, но ликвидирован весь старый аппарат и установлены новые органы Советской власти во главе с губернским исполнительным комитетом (губисполком), выбиравшимся на губернском съезде Советов. В 1924-1929 годах в СССР губернское деление заменено делением на области, края и округа.